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高純水/超純水水質的標準是什么?

文章出處:網(wǎng)絡 人氣:發(fā)表時間:2022-08-24

純凈水,指的是不含雜質的H2O。

從學術角度講,純凈水又稱純水、高純水,是指化學純度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標準,通常水的純度是以其電阻率(或電導率)來表證;也有根據(jù)用戶的需求來規(guī)定。

一般意義上講純水至少應該是去離子水,即水中大部分陰陽離子是應該被去除的。細菌、懸浮物等的含量也應是相當?shù)偷摹D壳八|要求最高的超純水是半導體行業(yè),根據(jù)半導體芯片的大小和線徑的不同水質要求也不一樣,其超純水的水質指標如下:

電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);

TOC(總有機碳)小于1到10ppb,

DO(溶解氧)小于1到10ppb;

Particle(顆粒):0.05微米小于200個/升;

離子含量大部分是小于20到50ppt;

細菌檢測:無。

但對于高純水來說這是不確切的,應檢測純水中某項雜質的含量來表證。這是因為:影響高純水電阻率的主要因素是PH,而不是ppt即10-11M級雜質,電阻率是衡量水中電解質總和的參數(shù),不能表證某一單項雜質的含量,而對于高純分析所關心的不是雜質的總含量,而是我們所要分析的某單項雜質該元素的含量,即空白值,這顯然不能由電阻率給出的,

總之,對于高純水如果仍以電阻率衡量其水質,將會造成錯覺。因此,我們以無焰原子吸收光譜法檢查純水的單項雜質含量來表證其水質,這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。高純水的水質標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有:1.微電子工藝對水質的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術的現(xiàn)狀。

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